JXA-50A电子探针真空逻辑控制电路的故障分析与检修

【作者】汪海洋

【期刊名】天津冶金

【年份】1905

【关键词】 原理分析 真空逻辑电路 电子探针 故障检修

【作者单位】天津市冶金材料研究所

【简介】论述了JXA-50A电子探针真空系统样品更换室逻辑控制电路基本工作原理,以及该电路系统出现故障后的基本分析思路和检修方法。关于集成电路检修,作者结合个人工作的实践体会提出了较可靠实用的维修方法和理论根据。